Keywords:
scanning probe microscopy; scanning capacitance microscopy; scanning kelvin microscopy; scanning spreading resistance microscopy; doping profiling; failure analysis; semiconductor surfaces; silicon; high-quality silicondioxide; ultraviolett-ozon oxidation; surface charges; surface diffusion; ultra high density storage; nanotechnology;

---

0 Titel, Inhaltsangabe, Abstract, Inhaltsverzeichnis, Prolog part0.pdf (21k)
 
 

1 Nanotechnologie und Rastersondenmethoden part1.pdf (430k)

1.1 Nanotechnologie

 

1.2 Rastersondenmethoden

2 Nanoanalytik mit Rastersondenmethoden part2.pdf (3.628k)

2.1 Nanoanalytik von integrierten Schaltungen

 

2.2 Nanoanalytik zweidimensionaler Dotierprofile

 

2.2.1 SCM (Scanning Capacitance Microscopy)

                            2.2.1.1 Instrumentierung

                  2.2.1.2 Sonden

                            2.2.1.3 Probenpräparation

                  2.2.1.4 Dotierungs-Auflösung

                  2.2.1.5 Laterale Auflösung

                  2.2.1.6 SCM-Eichung

                  2.2.1.7 Beispiele aus der Fehleranalyse

 

2.2.2 SCS (Scanning Capacitance Spectroscopy)

 

          2.2.3 Quantitative SCM

3 Nanostrukturierung mit Rastersondenmethoden part3.pdf (630k)

3.1 Rastersondenmethoden für die Speichertechnologie

 

        3.1.1 Ultra-High-Density-Storage-Systeme

 

        3.1.2 High-Speed-Systeme

 

 

 

4 Zusammenfassung und Ausblick part4.pdf (143k)

Literaturverzeichnis, Internet-Adressen, Anhang (Höchstempfindliche Kapazitätssensoren, Abkürzungsverzeichnis, Veröffentlichungen und Präsentationen, Danksagung)