Kurzfassung
In dieser Arbeit werden die Entwicklung und
Realisierung von dc
SQUID-Magnetometern aus dem Hochtemperatur-Supraleiter
YBa2Cu3O7 für den Einsatz bei 77 K
beschrieben. Zur Optimierung der Bauelemente werden Simulationen im
Rahmen des RCSJ-Modells durchgeführt. Für den
Modulationstiefenparameter betaL kann als optimal ein Wert nahe 1
angegeben werden. Dieser Wert gleicht dem in früheren Simulationen
für Bauelemente aus Niob, die bei 4.2 K betrieben werden, ermittelten
Wert. Von den früheren Ergebnissen abweichend sollte der
Hystereseparameter betaC = 2 gewählt werden. Unter
Einbeziehung des bei 77 K wichtigen Rauschverrundungsparameters wird
eine erweiterte Optimierungsregel für die Energieauflösung abgeleitet
und diskutiert.
Es wird die Entwicklung einer Technologie zur
Herstellung von
SQUID-Magnetometern aus YBa2Cu3O7
basierend auf Rampenkontakten mit
PrBa2Cu3O7-Barrieren beschrieben.
Diese Technologie verwendet KrF-Excimerlaserdeposition,
konventionelle
Photolithographie und Trockenätzen mit Argon-Ionen. Durch den
Einsatz
eines flux-locked-loop (FLL)-Verfahrens mit ac-Bias-Modulation können
bei direkt gekoppelten Magnetometern die niederfrequenten
Fluktuationen oberhalb einer Eckfrequenz von 1.2 Hz auf den Wert des
weißen Rauschpegels von 20beta0/Hz1/2
unterdrückt werden.
Ohne Berücksichtigung der auftretenden Exzess-Ströme kann das
1/f-Rauschen durch Fluktuationen der kritischen Ströme erklärt
werden.
Zur Demonstration der Verwendbarkeit der Josephson-Kontakte mit
künstlichen Barrieren für magnetisch unabgeschirmten Betrieb wurde
die
Magnetfeldverteilung einer Kupferspule vermessen.
Zur Vergrößerung der effektiven Fläche, d.h. zur
effizienteren
Magnetfeldeinkopplung, wurde in Zusammenarbeit mit der PTB unter
Einbringung der Mehrlagentechnologie ein Mehrschleifen-Magnetometer
entwickelt. Die Mehrschleifen-Magnetometer können mit hoher Ausbeute
für den Betrieb bei 77 K hergestellt werden. Sie werden mit Hilfe
von
Transport- und Rauschmessungen sowie ortsaufgelöster
Mikro-Raman-Spektroskopie charakterisiert. Es wird ein Feldrauschen
von SB1/2(77 K, 1 kHz) = 240
fT/Hz1/2 erreicht. Mit
solchen Magnetometern wurden erste biomagnetische Messungen
durchgeführt. Es konnten ungemittelte Messungen
magnetokardiographische Signale mit gutem Signal-zu-Rausch-Verhältnis
aufgenommen werden.
In this thesis the development and realisation of dc SQUIDS -magnetometers made of the high-temperature superconductor YBa2Cu3O7 for operation at 77 K are described. For optimization of the devices simulations in the RSCJ-model are performed. The optimum value of the modulation-depth parameter betaL is found to be close to 1. This value is similar to results previously derived from simulations for niobium devices at 4.2 K. However the hysteresis parameter should be chosen higher than betaC(4.2 K) = 1. As optimum betaC= 2 is found for 77 K. Taking into account the noise rounding parameter gamma, which is important at 77 K, an extended rule for optimum energy resolution is given and discussed. The development of a technology for preparing dc SQUID-magnetometers made of YBa2Cu3O7 basing on ramp type junctions with PrBa2Cu3O7 barriers is described. This technology employs KrF-excimer laser deposition, conventional photolithography and dry-etching with argon ions. Using a flux-locked-loop (FLL) scheme with ac-bias-modulation technique the low frequency fluctuations in directly-coupled magnetometers can be suppressed to the level of the white noise of 20 beta0 (Hz)1/2 above a corner frequency of 1.2 Hz. Neglecting excess currents the 1/f noise can be attributed to critical current fluctuations. In order to demonstrate the operation in a magnetically unshielded environment Josephson junctions with artificial barriers are used in magnetometers for mapping the magnetic field distribution of a copper coil. To increase the effective area for efficient magnetic field coupling a multi-loop magnetometer is developed in collaboration with the PTB using our multilayer technology. The multi-loop magnetometer can be prepared with a high yield for operation at 77 K. They are characterized by transport and noise measurements. For local informations on structural properties micro-Raman spectroscopy is used. At 77 K a flux density noise of SB1/2(77 K, 1 kHz) = 240 fT Hz1/2 is observed. This type of magnetometer was used in first biomagnetic measurements. Magnetocardiographic signals are measured without averaging with a good signal to noise ratio.