Gegenstand dieser Arbeit war die Herstellung und Charakterisierung von Y2O3-Schichten, die mittels der Pulsed Laser Deposition-Technik auf α-Al2O3 Substraten aufgewachsen wurden. Die Kristallstruktur wurde mit Hilfe Röntgen-diffraktometrischer Methoden untersucht und es wurden die Prozessparameter für kristallines Wachstum von Y2O3 in [111]-Richtung auf α-Al2O3 (0001)-Oberflächen erarbeitet.
Die optischen Eigenschaften der Schichten standen im Vordergrund und Europium dotierte Y2O3-Schichten wurden im sichtbaren und im (Vakuum-) ultravioletten Spektralbereich spektroskopisch untersucht. Die Charakterisierung der 4f-4f-Übergänge der Eu3+-Ionen zeigte, dass sich die lokale Symmetrie der Eu3+-Zentren in den Schichten nicht von der Symmetrie unterscheidet, die in Y2O3-Volumenkristallen vorliegt, sofern nicht die Ionen in unmittelbarer Grenzschichtnähe zum Al2O3-Substrat betrachtet werden. Allerdings konnte gezeigt werden, dass Verspannungen an der Grenzschicht deutliche Verzerrungen der lokalen Symmetrie hervorrufen und stark modifizierte Spektren zur Folge haben.
Zusätzlich wurde aufgezeigt, dass die Existenz von Europiumionen an der Grenzschicht zwischen der Y2O3-PLD-Schicht und dem Al2O3-Substrat für angeregte Zustände verantwortlich sind, die in Eu3:Y2O3-Volumenkristallen nicht nachgewiesen werden können.
Es wurde eine sehr starke, spektral breitbandige Lumineszenz im blauen Spektralbereich mit einem Maximum bei der Energie E=3eV (λ=415nm) unter Anregung mit Photonenenergien um 6eV (λ=203nm) beobachtet. Diese Lumineszenz trat nur in solchen Schichten auf, in denen Europiumionen direkt an der Grenzschicht vorliegen. Ein Vergleich mit dünnen Schichten, die mittels Elektronenstrahlverdampfung hergestellt wurden, demonstrierte, dass dieses Phänomen mit dem PLD-Prozess verbunden ist. Unter der Annahme, dass ein gewisser Anteil der Europiumionen als zweiwertige Eu2+-Ionen an der Grenzschicht eingebaut werden, wurde ein Modell entwickelt, das diesen Effekt erklärt.
Außerdem ließen sich in den Eu3+:Y2O3-Schichten Exzitonen mit beträchtlich niedrigeren Energien anregen als es im Volumenkristall möglich war. Diese energetisch niedrigeren Zustände wurden durch die Wechselwirkung der Exzitonen mit den Dotierungsionen und Gitterfehlstellen in Grenzschichtnähe erklärt.
Das Schichtsystem Y2O3 auf Al2O3 wurde detailliert in Hinblick auf die Eignung als Wellenleiter untersucht. In theoretischen Überlegungen wurde die prinzipielle Tauglichkeit demonstriert und experimentell wurde Wellenleitung in einer 3μm dicken Nd3+:Y2O3-Schicht auf einem Al2O3-Substrat nachgewiesen.
The subject of this work is the preparation and characterization of Y2O3 thin films
grown on α-Al2O3 substrates using the Pulsed-Laser-Deposition (PLD) technique. By
investigating the crystal structure through X-Ray Diffractometry (XRD) it was possible to
aquire suitable process parameters for crystalline thin film growth in
Y2O3 [111]-direction on α-Al2O3 (0001)-surfaces.
Europium doped Y2O3 thin films were investigated spectroscopically in the
(vacuum-) ultraviolet and visible spectral range in order to study the optical
properties of the films. The spectroscopic characterization of the 4f-4f
transitions of the Eu3+ ions shows that the local symmetry of the Eu3+ centers
within the films is not changed due to strain in comparison to the bulk crystal as long as the
Eu3+ centers are not located directly at the interface to the substrate. However,
Eu3+ ions which are located directly at the interface show modified spectra and it was
proven that the local symmetry is strongly distorted at the interface to the substrate.
Additionally, the presence of europium ions at the interface between the Y2O3 PLD film
and the Al2O3 substrate is responsible for the existence of excited states which are
observed in PLD films but not in Eu3+:Y2O3 bulk crystals.
A very strong and spectrally broad luminescence band with a maximum at E=3eV
(λ=415nm) is observed at excitation with 6eV photons (λ=203nm) if
europium ions exist at the interface. A comparison to thin films grown by electron beam
evaporation shows that this luminescence is related to the PLD thin film growth technique. A
model is presented which explains the effect, provided that a certain amount of the dopant
ions are incorporated as divalent Eu2+ ions at the interface.
Further, excitonic states can be excited in the Eu3+:Y2O3 films at considerably
reduced energies in comparison to Eu3+:Y2O3 bulk crystals since the dopant ions at
the interface and lattice defects induce traps for excitons.
With regard to the application of rare earth doped crystalline films as waveguide devices a
detailed analysis of the waveguide properties of this layer system is done. Theoretical
considerations show that the applicability is in principle given for Y2O3 films on Al2O3
substrates. Besides, wave guiding is demonstrated experimentally in a 3μm thick
Nd3+:Y2O3 film on Al2O3.