Gesche Nahrwold, Dissertation, Fachbereich Physik der Universität Hamburg, 2014 :

"Optimierte Sputter-Deposition von Permalloy-Nanostrukturen für Experimente zum Depinnen von Domänenwänden"


"Sputter Deposition of Permalloy Nanostructures Optimized for Domain-Wall Depinning Experiments"



Schlagwörter: Sputter Deposition, Permalloy, Domain-Wall
PACS : 76.50.+g, 75.70.Ak, 75.75.Cd, 52.77.Dq, 68.37.-d, 68.55.-a, 75.50.Bb, 75.60.Ch
Der Volltext wurde als Buch/Online-Dokument (ISBN 978-3-8439-1768-1) im Verlag Dr. Hut veröffentlicht.

Summary

Kurzfassung

Neue Konzepte für Speichermedien basieren auf der stromgetriebenen Bewegung ferromagnetischer Domänenwände in Nanostrukturen. Prominentestes Beispiel hierfür ist der sogenannte Racetrack-Speicher, vorgestellt von S. Parkin et al. Stromgetriebene Domänenwandbewegung erregt seither großes wissenschaftliches Interesse. Die Legierung Permalloy (Ni80Fe20) wird oft zur Präparation von Nanostrukturen für Hochfrequenzexperimente in denen die Magnetisierung entweder durch elektrische Ströme oder magnetische Felder angeregt wird verwendet. Die genaue Kenntnis der Materialparameter ist für das Verständnis der Magnetisierungsdynamik unverzichtbar. In dieser Arbeit werden dünne Permalloyschichten durch DC-Magnetronsputtern und durch thermisches Verdampfen, teilweise mit anschließendem Ausheilen, gewachsen. Der spezifische Widerstand wird in Van-der-Pauw-Geometrie gemessen. Punktkontakt-Andreev-Reflektion wird verwendet um die Spinpolarisation der Schichten zu bestimmen. Die Topografie wird durch Rasterkraftmikroskopie und die magnetische Mikrostruktur durch Magnetkraftmikroskopie abgebildet. Transmissions-Elektronenmikroskopie und Transmissions-Elektronenbeugung werden zur Feststellung der atomaren Zusammensetzung, der Kristallstruktur sowie der Morphologie durchgeführt. Mittels Ferromagnet-Resonanz-Spektroskopie werden die Sättigungsmagnetisierung, die Anisotropie und der Gilbert-Dämpfungsparameter ermittelt. Koerzitivfelder und Anisotropie werden mithilfe von magnetooptischer Kerrmagnetometrie gemessen. Die Summe dieser Ergebnisse ermöglicht die Optimierung von Permalloy für Spintronik-Experimente. Ein aufgedampfter gekrümmter Permalloynanodraht offenbart das oszillatorische Verhalten der Ablösewahrscheinlichkeit der resonant schwingenden Domänenwand mit der Dauer des Strompulses aus dem rückstellenden Potential. Für die Probenherstellung mit Permalloy das auf 280° C − 320° C beheizte Substrate gesputtert wurde ist ein subtraktiver Prozess notwendig, da durch die hohen Temperaturen der Lack im Lift-Off-Verfahren nicht mehr gelöst werden kann. Deshalb werden gekrümmte Drähte durch subtraktives Ionenstrahlätzen bzw. RF-Sputterätzen aus Permalloyfilmen hergestellt. Strominduzierte Domänenwandexperimente mit diesen Proben ergeben niedrige Ablösefelder unterhalb 1 mT und einen zuverlässigen Ablöseprozess.

Titel

Kurzfassung

Summary

Novel storage concepts are based on the current-induced motion of ferromagnetic domain walls in nanostructures, most prominently represented by the racetrack memory invented by S. Parkin et al., so that current-induced domain-wall motion is a subject of wide interest. Permalloy (Ni80Fe20) is broadly used to prepare magnetic nanostructures for high-frequency experiments where the magnetization is either excited by electrical currents or magnetic fields. Detailed knowledge of the material properties is mandatory for a thorough understanding of its magnetization dynamics. In this work, thin Permalloy films are grown by DC-magnetron sputtering on heated substrates and by thermal evaporation, partially with subsequent annealing. The specific resistance is determined by the van der Pauw method. Point-contact Andreev reflection is employed to determine the spin polarization of the films. The topography is imaged by atomic force microscopy, and the magnetic microstructure by magnetic force microscopy. Transmission-electron microscopy and transmission-electron diffraction are performed to determine atomic composition, crystal structure, and morphology. From ferromagnetic resonance absorption spectra the saturation magnetization, the anisotropy, and the Gilbert damping parameter are determined. Coercive fields and anisotropy are measured by magneto-optical Kerr magnetometry. The sum of these findings enables optimization of Permalloy for spintronic experiments. An evaporated curved Permalloy nanowire reveals the oscillatory behavior of the domain-wall depinning probability with current pulse length due to the walls’ resonant motion in the restoring potential. For sample preparation with Permalloy sputtered on heated substrates a subtractive process is needed as due to the high temperatures during deposition lift-off processing is impossible. For that reason curved wires are fabricated by subtractive ion-milling and RF-sputtering of Permalloy films sputtered on substrates heated to 280° C − 320° C. Current-induced domain-wall experiments with subtractively prepared samples yield low depinning fields below 1 mT and a reliable depinning process.